应用在电子标签倒扣封装设备上的固晶压头

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专利名称 应用在电子标签倒扣封装设备上的固晶压头 申请号 CN201010275842.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101973011A 公开(授权)日 2011.02.16 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 邴玉霞;刘立峰;郭晓光;刘亚忠;田学光 主分类号 B25B27/00(2006.01)I IPC主分类号 B25B27/00(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 专利有效期 应用在电子标签倒扣封装设备上的固晶压头 至应用在电子标签倒扣封装设备上的固晶压头 法律状态 授权 说明书摘要 本发明涉及一种应用在电子标签倒扣封装设备上的固晶压头,该压头包括低摩擦气缸,连接组件,弹簧,调整环,加热块;所述低摩擦气缸的缸体通过连接组件与上热压头模板连接;弹簧安装在调整环上,调整环及弹簧套装在活塞杆上,并且调整环的上端与缸体的下端螺纹连接;加热块与活塞杆的下端连接。本发明通过旋转调整环改变弹簧推力,能够根据所需压力的大小进行微调,并通过高精度推拉力计对微调压力进行检测,使多个压头的压力达到均匀一致,达到了很好的热压固晶效果,从而能够有效地固定芯片。

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