扫描电子显微镜样品台

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专利名称 扫描电子显微镜样品台 申请号 CN201020676443.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN202033304U 公开(授权)日 2011.11.09 申请(专利权)人 国家纳米科学中心 发明(设计)人 谢家仪;冯建涛;韩东 主分类号 G01N23/22(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/22(2006.01)I 专利有效期 扫描电子显微镜样品台 至扫描电子显微镜样品台 法律状态 说明书摘要 本实用新型提供了一种扫描电子显微镜样品台,该扫描电子显微镜样品台具有本体,所述本体具有相互平行的顶面、底面、和连接在所述顶面和底面之间的多个侧面,所述侧面至少具有一个平面,其特征在于,所述本体上具有缺口。该样品台操作简便,解决了多角度倾斜样品台导电性差的问题,并且通过翻转本实用新型提供的SEM样品台最大可实现对样品的360°观测,从而能够更全面的获取样品的形貌信息。

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