| 专利名称 | 真空器件用嵌入式小钛泵 | 申请号 | CN200910242756.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102102652A | 公开（授权）日 | 2011.06.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 李实;贺鑫;李颖 | 主分类号 | F04B37/02(2006.01)I | IPC主分类号 | F04B37/02(2006.01)I | 专利有效期 | 真空器件用嵌入式小钛泵 至真空器件用嵌入式小钛泵 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种真空器件用嵌入式小钛泵，涉及真空钛泵技术，是借用真空器件的外壳和内部电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极；外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体。本发明没有独立的钛泵系统，部分钛泵电极是借用器件固有的电极或嵌入器件内部，降低了重量、结构简单、提高了绝缘和可靠性。该钛泵可以随真空系统永久工作，提高了真空系统的真空度，保证了产品的稳定性和寿命。 |
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