| 专利名称 | 一种获取等离子体伏安特性曲线方法 | 申请号 | CN201110048048.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102650663A | 公开（授权）日 | 2012.08.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明（设计）人 | 丁亮;朱翔;孙简;鉴福升;徐跃民;孙海龙;吴逢时;黄伟;霍文清;杨新杰;姜昱光 | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种获取等离子体伏安特性曲线方法 至一种获取等离子体伏安特性曲线方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种获取等离子体伏安特性曲线方法，该方法在射频放电模式条件下用朗缪尔探针对等离子体参数进行探测，所述的朗缪尔探针在扫描电压的控制下对一探测点进行探测来获取参数采样值，从而得到等离子体的伏安特性曲线；其中，一次探针工作时间包括多个放电周期，同一放电周期内对所述的朗缪尔探针施加一个稳定的扫描电压，每个放电周期对应一个不同的扫描电压。 |
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