薄膜光伏电池及其制造方法

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专利名称 薄膜光伏电池及其制造方法 申请号 CN200910108711.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN101944541A 公开(授权)日 2011.01.12 申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 发明(设计)人 宋秋明;肖旭东;强骥鹏;施成营;刘壮;陈旺寿 主分类号 H01L31/042(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/042(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 专利有效期 薄膜光伏电池及其制造方法 至薄膜光伏电池及其制造方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种薄膜光伏电池及其制造方法。所述薄膜光伏电池包括衬底、电极层、p型吸收层、n型缓冲层、高阻层、窗口层;所述衬底、电极层、p型吸收层、n型缓冲层、高阻层、窗口层按着从下到上的顺序层叠设置;所述窗口层是近红外波段低吸收高电导ZnO基透明导电窗口层;所述薄膜光伏电池采用陷光结构。所述薄膜光伏电池的制造方法包括:提供衬底;沉积电极层;沉积p型吸收层;沉积n型缓冲层;沉积高阻层;沉积近红外低吸收ZnO基窗口层;形成陷光结构。所述薄膜光伏电池的吸收层厚度较小,并且有效光利用率较高。

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