铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置

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专利名称 铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置 申请号 CN200320120097.7 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2655236 公开(授权)日 2004.11.10 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 褚家如;李磊;鲁健 主分类号 G01N27/02 IPC主分类号 G01N27/02;G01N33/20 专利有效期 铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置 至铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置 法律状态 授权 说明书摘要 铁电薄膜材料介电性能多频率自动测试装置是 一种铁电功能陶瓷材料的测试装置,尤其是锆钛酸铅(PZT)铁 电薄膜材料的介电性能测试装置。该装置包括信号发生器1、 辅助分压电阻2、A/D转换及接口控制单元3、微处理器主控 单元4、计算机5,其中信号发生器1、辅助分压电阻2、待测 铁电薄膜21串联成一个电回路,在辅助分压电阻2的两端分 别接A/D转换及接口控制单元3,A/D转换及接口控制单元3 的数字信号输出以及控制信号与微处理器主控单元4的数字及 控制总线相连,微处理器主控单元4与计算机5通过打印机并 行接口或者RS232串行接口或者USB接口或者PCI总线相连。 该系统能实现在各频率下的铁电薄膜相对介电常数和介质损 耗的测量。

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