| 专利名称 | 纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体 | 申请号 | CN200810023612.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101556236 | 公开（授权）日 | 2009.10.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 侯玉斌;王霁晖;陆轻铀 | 主分类号 | G01N13/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N13/10(2006.01)I;G02B21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体 至纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于 基座上的两个压电管，探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端，探针与样品间的间隙 调节方向与两个压电管的轴线方向垂直，两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定 位、一个Y定位和一个Z定位。本发明是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管 轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围，使得在全部使用小于18V的低电压情况下也 能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功 能，并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。 |
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