| 专利名称 | 无摩擦惯性步进扫描器、控制法、同点扫描双探针显微镜 | 申请号 | CN200710191138.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101226125 | 公开（授权）日 | 2008.07.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 陆轻铀 | 主分类号 | G01N13/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N13/10(2006.01)I;G12B21/22(2006.01)I | 专利有效期 | 无摩擦惯性步进扫描器、控制法、同点扫描双探针显微镜 至无摩擦惯性步进扫描器、控制法、同点扫描双探针显微镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 无摩擦惯性步进扫描器特征是拉力器将压片拉向基座，XYZ压电扫描管的一端固定 于基座，另一端托住压片并与之产生压力。工作时，施加Z伸长信号和缓慢的XY信号， 之后将这两个信号快速回撤使得XY回移过程发生在Z回缩过程之内并使得压片的Z方向 惯性力将其XY方向的摩擦力减为零。照此重复产生XY方向步进且无摩擦力干扰，大范 围步进定位精度很高，又保留了小范围扫描、定位功能。引入两个独立的Z定位器来调 节双探针与样品的间距后，使用无摩擦惯性步进扫描器可将样品上第一个探针的测量点 精确送达第二个探针扫描范围之内，实现同点扫描双探针显微镜。其给出的数据更全面、 可靠，意义更广、更深。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障