双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器

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专利名称 双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器 申请号 CN200610161477.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1996737 公开(授权)日 2007.07.11 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 陆轻铀;侯玉斌 主分类号 H02N2/00(2006.01) IPC主分类号 H02N2/00(2006.01);H02N2/02(2006.01);H02N2/06(2006.01);H01L41/08(2006.01);H01L41/09(2006.01) 专利有效期 双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器 至双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 双压电体线性纳米定位压电驱动器、其控制方法及控制器,其特征是左右两个压电致动器沿形变方向以机械串联的方式固定连接构成各自独立可控的二连体;二连体沿其形变方向分为中区、左区及右区,设置与二连体在其形变方向上滑动配合的基体,在垂直于二连体形变方向上设置将二连体或固定于其上的受力垫与基体相压的正压力,在基体与二连体三个区中分别形成摩擦力,其中任一个区的最大静摩擦力不大于其它两个区最大静摩擦力之和。本发明仅需两个压电致动器,一体化结构,易于微型化和集成,双向可控行走,推力大,工作温区大,行程大,精度高,还适合于在超低温、超高真空、强磁场等极端物理环境中工作。

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