偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜

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专利名称 偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜 申请号 CN200610097197.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1963452 公开(授权)日 2007.05.16 申请(专利权)人 中国科学技术大学 发明(设计)人 陆轻铀 主分类号 G01N13/12(2006.01) IPC主分类号 G01N13/12(2006.01) 专利有效期 偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜 至偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显 微镜,特征是探针架固定于Z定位器或XYZ定位器一端、样 品架固定于基座,探针架和样品架位置可互换,固定在探针架 上的探针指向样品架上的样品,电流源连接探针和样品构成的 隧道结,该隧道结电压信号输入到缓冲器,由该缓冲器给出输 出信号。调节样品-探针间距Z时可测V-Z谱;用交流电流 源时可测dV/dI谱;用XYZ定位器时可测等高电压图像。如 接入反馈控制器则可测样品恒流等电压图像。本发明利用了隧 道结本身既有高阻特性可放大弱电流,且又寄生电容较小可提 高带宽,使测量带宽和增益同时获得提高,并能改善灵敏度和 信噪比;测量V-Z谱也比现有扫描隧道显微镜更简单、精确。

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