| 专利名称 | 一种线性离子束源装置 | 申请号 | CN200920120060.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201400715 | 公开（授权）日 | 2010.02.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 汪爱英;代伟;孙丽丽;吴国松 | 主分类号 | C23C14/46(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/46(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 专利有效期 | 一种线性离子束源装置 至一种线性离子束源装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种线性离子束源装置，包括有：阴极(1)，阳极(2)，阴极(1)和阳 极(2)之间形成有电离区域(7)，用于将可电离的气体引导进入所述电离区域(7)的气体供 应通道(4)，以及用于在所述电离区域(7)产生磁场分布的磁体(3)，其特征在于：阴极(1) 上开设有一环形缝隙(13)，从而将阴极(1)分割为处于环形缝隙(13)中间的第一阴极(11) 和处于环形缝隙(13)外围的第二阴极(12)，而阳极(2)也呈环形结构，并且阳极(2)置于与 阴极(1)的环形缝隙(13)相对应的位置。与现有技术相比，本实用新型提供的装置能在较 大尺寸范围内产生连续均匀的离子束流。 |
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