专利名称 | 动镜环形干涉仪 | 申请号 | CN200820221797.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN201314819 | 公开(授权)日 | 2009.09.23 | 申请(专利权)人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 陈立武 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01D5/26(2006.01)I | 专利有效期 | 动镜环形干涉仪 至动镜环形干涉仪 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种动镜环形干涉仪,包括第一透镜,分束镜,分束镜将 从物方入射的光线分为两路,两路光线包括反射光线和透射光线,反射光线反 方向设有探测器,第一透镜设置于分束镜与探测器之间,反射光线光路上设置 有双面反射镜,反射光线入射双面反射镜的一面;透射光线经过至少个具有反 射能力的光学器件构成的回路入射到双面反射镜的另一面。其解决了现有麦克 耳逊干涉仪的动镜对倾斜非常敏感的技术问题。具有对倾斜误差不敏感的优点。 |
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