动镜环形干涉仪

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专利名称 动镜环形干涉仪 申请号 CN200820221797.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201314819 公开(授权)日 2009.09.23 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 陈立武 主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G01D5/26(2006.01)I 专利有效期 动镜环形干涉仪 至动镜环形干涉仪 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型提供一种动镜环形干涉仪,包括第一透镜,分束镜,分束镜将 从物方入射的光线分为两路,两路光线包括反射光线和透射光线,反射光线反 方向设有探测器,第一透镜设置于分束镜与探测器之间,反射光线光路上设置 有双面反射镜,反射光线入射双面反射镜的一面;透射光线经过至少个具有反 射能力的光学器件构成的回路入射到双面反射镜的另一面。其解决了现有麦克 耳逊干涉仪的动镜对倾斜非常敏感的技术问题。具有对倾斜误差不敏感的优点。

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