| 专利名称 | 气体激光器及其放电腔 | 申请号 | CN201220209759.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202872165U | 公开（授权）日 | 2013.04.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇 | 主分类号 | H01S3/03(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/03(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;H01S3/22(2006.01)I | 专利有效期 | 气体激光器及其放电腔 至气体激光器及其放电腔 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本实用新型通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构，从而防止了涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。 |
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