| 专利名称 | 用于溅射磁性材料的磁控靶 | 申请号 | CN200820219582.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201296778 | 公开（授权）日 | 2009.08.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 冯彬;鲁向群;佟辉;刘大为;周颖;刘丽华 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 专利有效期 | 用于溅射磁性材料的磁控靶 至用于溅射磁性材料的磁控靶 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开一种用于溅射磁性材料的磁控靶，由外屏蔽罩、磁钢座、 极靴、绝缘座、固定座、靶材压盖、内外磁钢、进出水嘴、联接螺栓和密封橡 胶圈等部分组成。外屏蔽罩和固定座之间采用螺纹手动可调结构。磁钢座材料 为无氧铜，中心放内磁钢，周边钻若干小孔放外磁钢，靶材直接放在磁钢座上， 通过靶材压盖固定。极靴材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加 在极靴上。极靴下面氩弧焊焊接进出水嘴，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈实 现密封。绝缘座材料为可以在真空下使用的耐热绝缘材料，安装在固定座(阳 极)和极靴(阴极)之间。绝缘帽起到带电螺钉(阴极)和固定座(阳极)之 间的绝缘作用。本实用新型结构简单，成本低，磁控靶寿命长。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障