| 专利名称 | 物理气相沉积加热系统过流保护装置 | 申请号 | CN200820218830.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201280591 | 公开（授权）日 | 2009.07.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 王学研;徐英凤 | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/54(2006.01)I | 专利有效期 | 物理气相沉积加热系统过流保护装置 至物理气相沉积加热系统过流保护装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种物理气相沉积加热系统过流保护装置，包括过流 检测电路，通过感应线圈检测加热系统加热电源线的电流，经处理后输出 触发信号；过流保护控制电路，接收过流检测电路输出的触发信号，延时 控制加热系统电流调节电位器的电源切断；工作电源电路，为上述各电路 中的用电器件提供工作电源。本实用新型具有延时触发功能，避免了在加 温过程中加热电流的反复波动，减少了由于负载易受膜材颗粒的影响而反 复变化，引起过电流的反复冲击给加热体带来的损坏。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障