| 专利名称 | 极紫外波段发射效率测量装置 | 申请号 | CN200820150877.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201251487 | 公开（授权）日 | 2009.06.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 蔡懿;王文涛;夏长权;刘丽;邹璞;刘建胜;李儒新 | 主分类号 | G01J11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J11/00(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I | 专利有效期 | 极紫外波段发射效率测量装置 至极紫外波段发射效率测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前 进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、 竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机 采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可 有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5-40纳米波长范围内任意波段的 效率进行测量。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障