真空开关真空度校验仪

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专利名称 真空开关真空度校验仪 申请号 CN200820071845.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201221992 公开(授权)日 2009.04.15 申请(专利权)人 吉林省电力有限公司电力科学研究院;中国科学院电工研究所 发明(设计)人 梁义明;石一;严萍;邵涛;郎培英;孙桂新 主分类号 G01L27/00(2006.01)I IPC主分类号 G01L27/00(2006.01)I 专利有效期 真空开关真空度校验仪 至真空开关真空度校验仪 法律状态 授权 说明书摘要 一种真空开关真空度校验仪,包括真空开关、离子规管、真空标 定池、分子泵、机械泵、离子泵和氮气气瓶,真空开关通过三通接口 分别连接离子规管和真空标定池,真空标定池通过管道和抽气阀连接 分子泵,分子泵连接机械泵,真空标定池又通过管道和另一抽气阀连 接离子泵,真空标定池还通过管道和进气阀连接氮气气瓶。本实用新 型应用范围广,结构紧凑,操作过程简单,适用于校验各种对真空开 关进行真空度测量的仪器,利用该装置能够标定的最高真空度为 10-7Pa,精度高。

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