| 专利名称 | 一种多级干式真空泵的清洗装置 | 申请号 | CN200820013365.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201200981 | 公开（授权）日 | 2009.03.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 | 发明（设计）人 | 王光玉;秦佰林;房伟;刘在行 | 主分类号 | B08B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B5/00(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种多级干式真空泵的清洗装置 至一种多级干式真空泵的清洗装置 | 法律状态 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空 泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路， 减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气 体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量流量控制器的输出 端分为两路、分别与气体管路的第一、二部分相连接；质量流量控制 器与气体管路连接的每一路均设有电磁阀；气体管路中的第一部分与 干式真空泵的一级腔体相连接，第二部分分别与干式真空泵的二～五 腔体连接。本实用新型对每一级腔体均起到了清洗作用，清洗彻底， 具有控制简单、准确，真空度高等优点。 |
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