| 专利名称 | 一种调焦调平装置 | 申请号 | CN201110319524.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103064264A | 公开（授权）日 | 2013.04.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 刘广义;韩晓泉;王宇;周翊 | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种调焦调平装置 至一种调焦调平装置 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 一种用于投影光刻机的调焦调平装置，包含照明系统、成像系统和探测系统，其特征是：照明系统中的照明光栅和成像系统中的参考光栅均为具有高度差的阶梯状光栅。本发明采用阶梯式调焦标记，将光栅安装在阶梯棱镜或阶梯式镜架上，同时参考光栅也同样为阶梯式标记，由此，可以简化光学系统的设计和调试难度。 |
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