| 专利名称 | 采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置 | 申请号 | CN200820079483.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201177599 | 公开（授权）日 | 2009.01.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院力学研究所 | 发明（设计）人 | 孟永宏;靳刚 | 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/21(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G06T1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置 至采用旋转补偿器积分采样的椭偏成像装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样的椭偏成像装 置。所述装置包括：入射单元；出射单元；数据采集处理单元；数据采 集处理单元通过硬触发的方式来触发出射单元获得样品的椭偏图像。本 实用新型利用时间积分方法进行采样大幅度提高了系统的时间分辨率， 即减少了采样时间；采用匀速旋转相位补偿器达到了稳定的目的，能够 保证操控精度。 |
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