| 专利名称 | 靶面焦斑监测装置 | 申请号 | CN200720076826.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201096986 | 公开（授权）日 | 2008.08.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 任冰强;黄惠杰 | 主分类号 | G02B27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/00(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 靶面焦斑监测装置 至靶面焦斑监测装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像 光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光 束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现 本实用新型靶面焦斑监测装置的光轴和打靶光束的光轴的对接，图像接收系统用来 接收靶面成像光路所成的靶面像并在监视器上显示出来，通过计算CCD摄像机接收 到的靶面焦斑图像尺寸，可以精确测定靶面焦斑的实际尺寸。本实用新型装置既能 够提供与实际打靶激光束口径相同的平行激光束，同时又可以以较高的放大倍率对 靶点进行监测，以提高靶镜的调整精度，从而提高激光打靶的效率。 |
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