移相横向剪切干涉仪

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专利名称 移相横向剪切干涉仪 申请号 CN200720073974.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201096526 公开(授权)日 2008.08.06 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王利娟;刘立人;孙建锋;周煜 主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I;G02B7/18(2006.01)I 专利有效期 移相横向剪切干涉仪 至移相横向剪切干涉仪 法律状态 授权 说明书摘要 一种移相横向剪切干涉仪,由第一起偏器、输入平行平板、第二起偏器、第三 起偏器、第一剪切平板、第二剪切平板、输出平行平板、四分之一波片、检偏器、 CCD相机和计算机组成,该移相横向剪切干涉仪为等光程干涉光学系统,剪切量连 续可调,非常适合于短相干长度光束的波前测量,能满足不同光束口径和测量精度 要求的波前检测。

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