| 专利名称 | 偏振移相双剪切干涉波面测量仪 | 申请号 | CN200720075604.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201083544 | 公开（授权）日 | 2008.07.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜 | 主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I;G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I | 专利有效期 | 偏振移相双剪切干涉波面测量仪 至偏振移相双剪切干涉波面测量仪 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪，该测量仪的构成是沿光束的前进方向依 次包括：第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光 学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传 感器，该图像传感器的输出端接计算机。本实用新型不仅保持了双剪切干涉波面测 量仪的所有特点，而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮 廓等优点。 |
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