一种应用于激光切割的双CCD成像系统

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专利名称 一种应用于激光切割的双CCD成像系统 申请号 CN201210032833.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102581495A 公开(授权)日 2012.07.18 申请(专利权)人 中国科学院福建物质结构研究所 发明(设计)人 黄见洪;吴鸿春;翁文;刘华刚;葛燕;阮开明;邓晶;郑晖;李锦辉;史斐;戴殊韬;林文雄 主分类号 B23K26/42(2006.01)I IPC主分类号 B23K26/42(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G03B15/03(2006.01)I;G03B11/04(2006.01)I 专利有效期 一种应用于激光切割的双CCD成像系统 至一种应用于激光切割的双CCD成像系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种应用于激光切割的双CCD成像系统,属光电子领域,可应用于激光切割,激光钻孔等激光加工方面。本发明包括三个成像镜组和两个CCD相机,上高倍成像镜组和低倍成像镜组在不同波长的照明光源下工作,并共用一个CCD相机。本发明的目的在于公开一种新的CCD成像系统,不仅能满足LED晶圆激光切割高精度的成像要求,同时降低了设备成本以及图像处理负担,对于提高设备厂家的经济效益具有重要的意义。

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