应用于激光加工的旋转光学设计

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专利名称 应用于激光加工的旋转光学设计 申请号 CN201210028317.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102554465A 公开(授权)日 2012.07.11 申请(专利权)人 中国科学院福建物质结构研究所 发明(设计)人 黄见洪;葛燕;翁文;刘华刚;阮开明;邓晶;郑晖;李锦辉;史裴;戴殊韬;吴鸿春;林文雄 主分类号 B23K26/04(2006.01)I IPC主分类号 B23K26/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I 专利有效期 应用于激光加工的旋转光学设计 至应用于激光加工的旋转光学设计 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工,同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化,具有重要的实际意义。

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