| 专利名称 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极 | 申请号 | CN201120352699.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202307823U | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 黄成强;汪明刚;陈波;李超波 | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 专利有效期 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极 至一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极，包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器，所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器，所述升降器上固定连接有下电极托盘，所述下电极托盘设置在导轨器的上方，所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘，所述顶盘的下部开有圆柱形槽，所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘，所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙，所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔，所述第一通孔与冷却气入口连通；所述底盘的底部中心开有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔隔离设置，所述第二通孔的底端连接有密封管，所述第二通孔与冷却气出口连通。本实用新型的有益效果：冷却效果好，从而使刻蚀效果好。 |
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