| 专利名称 | 微位移高精度实时干涉测量装置 | 申请号 | CN200720067118.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201016705 | 公开（授权）日 | 2008.02.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 何国田;王向朝 | 主分类号 | G01B9/027(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/027(2006.01)I | 专利有效期 | 微位移高精度实时干涉测量装置 至微位移高精度实时干涉测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器、准直 扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干 涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电 路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机 的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述 的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相 连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用 时不需要校正，操作简便，可靠性高。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障