| 专利名称 | 物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 | 申请号 | CN200720067116.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN201003946 | 公开（授权）日 | 2008.01.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 何国田;王向朝 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 至物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种物体表面形貌纳米精度的实时干涉测量装置，包括一光源，沿 该光源输出光束的前进方向依次是准直扩束镜、分束器和被测量物体， 在所述的分束器的反射光束方向有一参考镜，在所述的参考镜4的反射光 束穿过所述的分束器的透射光束方向是一光电探测元件，特点是还有由 第一放大器、第二放大器和计算电路构成的相位探测电路，由实时解相 电路、相位修正电路和表面形貌值计算电路依次连接构成的实时相位数 据处理电路；由直流电源输出的电压和交流信号源输出的正弦调制信号 经半导体电流调制器对所述光源进行驱动和调制；所述的表面形貌值计 算电路的输出端接计算机。本实用新型能对物体表面形貌进行纳米精度 的实时干涉测量，测量范围扩展到毫米量级。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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