专利名称 | 一种双腔准分子激光器的同步控制系统 | 申请号 | CN201210015368.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102593704A | 公开(授权)日 | 2012.07.18 | 申请(专利权)人 | 中国科学院安徽光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 梁勖;王效顺;鲍健;方晓东 | 主分类号 | H01S3/102(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/102(2006.01)I;G05B19/042(2006.01)I | 专利有效期 | 一种双腔准分子激光器的同步控制系统 至一种双腔准分子激光器的同步控制系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种双腔准分子激光器的同步控制系统,包括有直流电源、充电模块、第一升压模块、第二升压模块、第一磁开关模块、第二磁开关模块和同步控制模块,在同步控制模块中通过对双腔准分子激光器的两腔进行实时取样并反馈信息给单片机,并通过单片机实时调节数字可编程延迟发生器,达到了两腔放电时间间隔<±5ns精度的同步控制,有效地实现了双腔准分子激光器两腔的同步,且本发明中采用多重屏蔽保护,有效地降低了双腔准分子激光器在运行过程中产生的电磁干扰,保证了系统的正常运行。 |
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