| 专利名称 | 基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置 | 申请号 | CN200620046360.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN200958977 | 公开（授权）日 | 2007.10.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李永国;朱健强 | 主分类号 | G01M11/00(2006.01) | IPC主分类号 | G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01);G01N21/88(2006.01);G01B9/02(2006.01) | 专利有效期 | 基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置 至基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置，包括一单色发光二极管的面光源，自该单色发光二极管面光源沿光路依次是散射板、第一分光板、标准样板和待检测元件，在所述的第一分光板由标准镜的返回光的反射光路上，依次是第二分光板、物镜和光电探测器，在所述的第二分光板的反射光路上有观察窗口。本实用新型的测量结果既可人工识别，又可通过计算机进行判读。本实用新型装置具有装置轻便、节能、成本低廉、应用广泛、可批量生成等特点，能方便地应用于批量的光学加工过程中的质量控制。 |
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