| 专利名称 | 一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法 | 申请号 | CN201010124758.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102192706A | 公开（授权）日 | 2011.09.21 | 申请（专利权）人 | 国家纳米科学中心 | 发明（设计）人 | 刘新风;闫永丽;宁廷银;裘晓辉 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/08(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I | 专利有效期 | 一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法 至一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种原位测量聚焦激光光束能量分布的装置和方法。该装置由一支架固定在高精度平移台上，该支架的桌面开有固定小孔部件的孔洞；显微镜镜头垂直于小孔部件设置，在桌面开孔的下方设置收集透镜，该收集透镜通过光纤与探测器连接，该探测器获得透射的激光信号输入给数据处理器，测试数据经数据处理器处理得到激光光斑的能量分布图。测量方法是利用显微镜确定小孔的位置，使激光聚焦在小孔位置；调节和设置探测器的曝光时间，根据所设置的步长进行扫描、曝光，数据处理器给出聚焦激光光斑的能量分布图。本发明利用小孔部件扫描激光光斑，将收集到的激光信号耦合到高灵敏、大动态响应范围的探测器上，实现聚焦光斑能量分布的精确测量。 |
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