| 专利名称 | 一种制作U型栅脚T型栅结构的方法 | 申请号 | CN201110133545.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102201334A | 公开（授权）日 | 2011.09.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 孔欣;魏珂;刘新宇;黄俊;刘果果 | 主分类号 | H01L21/28(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/28(2006.01)I;H01L21/335(2006.01)I | 专利有效期 | 一种制作U型栅脚T型栅结构的方法 至一种制作U型栅脚T型栅结构的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种制作U型栅脚T型栅结构的方法，该方法包括：在器件做完源漏和隔离后，在器件表面制备SiNx钝化层；使用ZEP520A电子束光刻胶对器件进行曝光显影得到刻蚀窗口；刻蚀SiNx钝化层形成U型栅脚结构；再刻蚀AlGaN势垒层，并通过双层胶二次曝光得到栅帽；以及经过蒸发、剥离形成U型栅脚T型栅结构。利用本发明，能够有效平滑T型栅栅脚近漏端的电场分布并降低峰值电场强度从而提高器件的击穿电压，同时对短沟道效应也能起到一定的抑制作用。 |
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