| 专利名称 | 一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器 | 申请号 | CN200620003832.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2888786 | 公开（授权）日 | 2007.04.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 李含冬;杜小龙;袁洪涛;曾兆权;张天冲;董靖;王喜娜;梅增霞;薛其坤;贾金锋 | 主分类号 | H05B3/20(2006.01) | IPC主分类号 | H05B3/20(2006.01);H05B3/03(2006.01);H05B3/12(2006.01);C23C14/50(2006.01);C23C16/44(2006.01) | 专利有效期 | 一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器 至一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平 面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔 电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵 列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上， 在支撑盘两端边缘对称分布有两个接线柱插孔，加热丝端线在 此与金属箔电极相连形成良好电接触。本实用新型能提供高于 800℃加热温度，且温场均匀。与传统加热丝型加热器相比， 由于采用合理几何设计，具有最少的部件，使用及维护成本很 低；与商用石墨体加热器相比，使用寿命长，且无碳污染，因 此非常适宜氧化物薄膜的生长。 |
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