| 专利名称 | 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 | 申请号 | CN201110052825.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102455910A | 公开（授权）日 | 2012.05.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 发明（设计）人 | 于海斌;徐皑冬;刘明哲;李正;王锴;金妮;张吉龙 | 主分类号 | G06F9/44(2006.01)I | IPC主分类号 | G06F9/44(2006.01)I | 专利有效期 | 面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 至面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障