| 专利名称 | 溅射离子泵的电源 | 申请号 | CN200520078831.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2839301 | 公开（授权）日 | 2006.11.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨晓天;张军辉;游志明;高大庆;蒙峻;胡振军;张喜平;候生军;张新俊 | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) | IPC主分类号 | C23C14/34(2006.01) | 专利有效期 | 溅射离子泵的电源 至溅射离子泵的电源 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离 子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联 设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可 以同时向至少两台溅射离子泵供电。 |
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