| 专利名称 | 计算机控制镀膜装置 | 申请号 | CN200520042282.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2823273 | 公开（授权）日 | 2006.10.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱美萍;易葵;郭世海;贺洪波;邵建达;范瑞瑛;范正修;齐红基 | 主分类号 | C23C14/54(2006.01) | IPC主分类号 | C23C14/54(2006.01);C23C14/24(2006.01) | 专利有效期 | 计算机控制镀膜装置 至计算机控制镀膜装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种计算机控制镀膜装置，包括由光源发射系 统、监控片、信号接收系统和锁相放大器四部分组成的光学膜 厚监控系统，其特征在于还有带有控制程序的计算机、晶控仪、 挡板开关控制电路；所述的控制程序部分包括参数设定模块和 数据处理模块。本实用新型消除了由于人为因素导致的稳定 性、重复性问题；采用光学监控和晶振监控结合的方法，既可 以镀膜规整膜系，又可以镀制非规整膜系。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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