| 专利名称 | 表面粗糙度非接触测量装置 | 申请号 | CN200520044169.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2814333 | 公开（授权）日 | 2006.09.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱青;徐文东;高秀敏;张锋;杨金涛;戴珂 | 主分类号 | G01B11/30(2006.01) | IPC主分类号 | G01B11/30(2006.01) | 专利有效期 | 表面粗糙度非接触测量装置 至表面粗糙度非接触测量装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种表面粗糙度非接触测量装置，它由聚焦误差 探测和控制驱动两部分组成。采用动态离焦误差检测方法，引 入聚焦伺服系统，由临界角法探测到聚焦误差信号，用来控制 聚焦物镜的移动，使聚焦光点始终聚焦在被测表面上，聚焦物 镜的移动量反映了被测表面的高度变化。为了避免光源不均 匀，及被测表面的倾角对测量的影响，采用双光路和差动技术， 本实用新型大幅度提高了测量范围，可避免光源不均匀，消去 了信号的畸变分量。 |
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