| 专利名称 | 一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统 | 申请号 | CN200420122526.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2787362 | 公开（授权）日 | 2006.06.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 段宣明;董贤子 | 主分类号 | B23K26/08(2006.01) | IPC主分类号 | B23K26/08(2006.01);B23K26/06(2006.01);B23K26/067(2006.01) | 专利有效期 | 一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统 至一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种激光在光敏性材料中加工 多重周期性微结构系统，该系统包括在激光器输出光路上依次 设置分光束装置、汇聚光束装置和样品台；激光器1产生的激 光经分光束装置分成N束相干光后到达汇聚光束装置，调节由 计算机操纵的三维微移动系统使这些相干光束在汇聚光束装 置的后面相交，实现在时间和空间上的相干，形成多重周期结 构的干涉条纹作用于放置在样品台的光敏性材料上，通过曝光 在光敏性材料中获得多重周期性微结构。本实用新型的系统结 构简单、易于实现工业化；使用本实用新型制备在光敏性材料 中加工多重周期性微结构的方法工艺简单、时间短、效率高， 以及该方法可实现对周期大小和结构花样任意调节，重复性 好。 |
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