| 专利名称 | 基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置 | 申请号 | CN201110008423.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102175303A | 公开（授权）日 | 2011.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张雪洁;黄伟;刘德安;张燕;刘芳;冯滔;朱健强 | 主分类号 | G01H9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H9/00(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B5/10(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I | 专利有效期 | 基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置 至基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特点在于其构成包括激光器，沿该激光器输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜、针孔、透镜、分光棱镜、光阑和球面反射镜，所述的针孔固定在所述的显微物镜的焦点位置处，所述的透镜到针孔的距离恰好为透镜的焦距时，透镜所处的位置称为平衡位置，所述的透镜具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜作为合作目标固定在待测物体的表面上，在所述的分光棱镜的相干光输出面外设有成像装置。本发明将主要光路集成于单块分光棱镜中，结构简单；实现了被测物体振动监测与测量光路变化监测的分离；并且使用球面反射镜作为合作目标，可实现对物体三维振动测量的目的。 |
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