| 专利名称 | 六自由度精密定位工作台 | 申请号 | CN200520040058.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2782326 | 公开（授权）日 | 2006.05.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王勇;刘志刚;薄锋;朱健强 | 主分类号 | B25H1/02(2006.01) | IPC主分类号 | B25H1/02(2006.01);G12B5/00(2006.01) | 专利有效期 | 六自由度精密定位工作台 至六自由度精密定位工作台 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种六自由度精密定位工作台，它由上下两层平 台连接而成，其中下层平台由两组双平行板式柔性铰链作为导 向机构，采用三组驱动单元实现两个方向的平动和一个方向的 转动。上层平台与下层平台的运动平台部分连接，采用三组等 边三角形布置的驱动单元和球面副柔性铰链实现一个方向的 平动和两个方向的转动。驱动单元采用压电陶瓷致动器，使位 移输出分辨率和定位精度高，频率响应快，无机械摩擦，且机 构定位可以实现补偿。本实用新型可实现纳米级的定位精度。 |
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