| 专利名称 | 多级高精度微位移传感器探头 | 申请号 | CN201110025009.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102175159A | 公开（授权）日 | 2011.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王欣;谢亮;鞠昱;刘宇;漆晓琼;孙可;满江伟;袁海庆;祝宁华 | 主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 多级高精度微位移传感器探头 至多级高精度微位移传感器探头 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种多级高精度微位移传感器探头，其中包括：一光纤束；一光纤束固定保护金属套，该光纤束固定保护金属套为中空圆柱体，在该光纤束固定保护金属套的中心开有一固定孔，所述光纤束穿过该光纤束固定保护金属套的固定孔固定。 |
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