高真空深冷水汽捕集器

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专利名称 高真空深冷水汽捕集器 申请号 CN200420067062.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2755311 公开(授权)日 2006.02.01 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 公茂琼;吴剑峰;胡勤国 主分类号 F04B37/08(2006.01) IPC主分类号 F04B37/08(2006.01) 专利有效期 高真空深冷水汽捕集器 至高真空深冷水汽捕集器 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及的高真空深冷水汽捕集器,包括 高真空水汽捕集单元、低真空水汽捕集单元、压缩机单元、低 真空室、真空连接管道以及制冷剂输运管道组成。布置方式为: 高真空捕集单元放置在高真空系统中的高真空泵(B)入口与高 真空室(A)连接处的高真空环境中,或放置在高真空系统中的 高真空室(A)内;低真空捕集单元放置在低真空室中,低真空 室通过真空系统连接管道同时与高真空系统中的高真空泵(B) 出口及前级真空泵(C)入口连接;高真空捕集单元工作温区在 110-150K。本实用新型提出的深冷水汽捕集器对水蒸汽具有 选择性捕集,可以显著提高抽速和极限真空度,制作成本低、 可靠性高和无需专门维护等特点。

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