| 专利名称 | 柔性平板波压差式微流量传感器 | 申请号 | CN200420012709.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2752730 | 公开（授权）日 | 2006.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 贾宏光;吴一辉;胡友旺 | 主分类号 | G01F1/34(2006.01) | IPC主分类号 | G01F1/34(2006.01) | 专利有效期 | 柔性平板波压差式微流量传感器 至柔性平板波压差式微流量传感器 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型属于微机电系统领域，涉及微流量测 量的传感器。包括：入口1、上盖2、微腔体一3、主体4、导 线一5、支架6、信号处理模块7、导线二8、微腔体二9、微 管道10、出口11。用柔性平板波提高灵敏度；用薄膜内应力 测量动态范围大，提高动态范围；用双力传感器，解决背压影 响和温度补偿；用非加热法实现生物兼容性；利用应力响应快 提高响应速度；无运动部件，降低加工难度，提高成品率；两 力传感器相隔远，无干扰，提高测量准确性。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障