| 专利名称 | 针尖扫描的光点跟踪装置 | 申请号 | CN200420110605.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2751298 | 公开（授权）日 | 2006.01.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司 | 发明（设计）人 | 杨金涛;徐文东;吉小明 | 主分类号 | G01N13/16(2006.01) | IPC主分类号 | G01N13/16(2006.01);G12B21/08(2006.01) | 专利有效期 | 针尖扫描的光点跟踪装置 至针尖扫描的光点跟踪装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置 由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第 一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射 体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂 针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成 像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透 镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本 实用新型装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光 点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂 针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电 探测器移动。 |
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