| 专利名称 | 基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法 | 申请号 | CN201110244940.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102298273A | 公开（授权）日 | 2011.12.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 徐东波;王向朝;彭勃;杨济硕;闫观勇;段立峰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法 至基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻机空间像的波像差检测的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明的优点在于根据空间像传感器角度响应的特点，给出了一种有效的基于二极照明的空间像传感器角度响应的测量方法，本发明通过空间像传感器角度响应的测量，精确地建立空间像传感器角度响应模型，可以有效地提高基于空间像的波像差检测技术的求解精度与求解重复性。 |
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