二维扫描型光学质量检测装置

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专利名称 二维扫描型光学质量检测装置 申请号 CN200420110960.5 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN2748898 公开(授权)日 2005.12.28 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 黄惠杰;闫岩;刘丹;任冰强;赵永凯;黄立华;张维新 主分类号 G01M11/02 IPC主分类号 G01M11/02 专利有效期 二维扫描型光学质量检测装置 至二维扫描型光学质量检测装置 法律状态 授权 说明书摘要 一种用于透镜光学质量检测的二维扫描型光学 质量检测装置,由照明系统、光束扫描机构、被检透镜、图像 接受系统以及系统控制与数据处理软件组成,其特征在于:所 述的照明系统是一输出光束口径可调的准直光源;所述的光束 扫描机构由圆形屏、第一步进电机、一维电动调整架和支架组 成;所述的图像接受系统包括CCD摄像机、导轨、第二步进 电机、支架和计算机,所述的计算机与第一步进电机、第二步 进电机、第三步进电机和CCD摄像机通过信号线相连。本实 用新型能对被检透镜进行全面检测,可以得到被检透镜的局部 误差。采样光束口径大小可以随意调节。检测波长可变。减小 了照明系统的设计与加工难度,提高了检测的效率,实现了哈 特曼光阑检测法的智能化和数字化。

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