| 专利名称 | 镀膜夹具控制装置 | 申请号 | CN200420110959.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2748474 | 公开（授权）日 | 2005.12.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王建国;洪瑞金;邵建达;范正修 | 主分类号 | C23C14/54 | IPC主分类号 | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/24 | 专利有效期 | 镀膜夹具控制装置 至镀膜夹具控制装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种镀膜夹具控制装置，其组成是：一计算机由 总线与I/O扩展槽连接后，该I/O扩展槽再连接到开关量功放 输出板，该开关量功放输出板分两路输出，一路通过第二步进 电机驱动器与第二步进电机相连，一直角形夹具座的一钢板固 定在第二步进电机的转轴上，另一路通过第一步进电机驱动器 与第一步进电机相连，该第一步进电机固定地安装在所述的夹 具座另一钢板上，该第一步进电机的转轴上固定所述的夹具， 所述的第一步进电机驱动器和第二步进电机驱动器的电源由 驱动器负载电源提供，所述的开关量功放输出板的电源由板卡 负载电源提供。本实用新型通过计算机对步进电机的精确控 制，可实现夹具的运动的三维运动，可以满足斜入射角沉积技 术的要求。 |
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