| 专利名称 | 双环路二维剪切干涉检测装置 | 申请号 | CN200420090572.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2739599 | 公开（授权）日 | 2005.11.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朋汉林;林礼煌;徐宏玮;冷雨欣 | 主分类号 | G01J9/00 | IPC主分类号 | G01J9/00;G01J1/00;G02B27/26;G01M11/02 | 专利有效期 | 双环路二维剪切干涉检测装置 至双环路二维剪切干涉检测装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种双环路二维剪切干涉检测装置，其构成是在 待测激光束的前进方向依次是扩束镜、45°置放的第一分光 镜、135°置放的第二分光镜及90°置放的第二全反射镜，在 第二反射镜的反射光路上设置第一全反射镜，且该第一全反射 镜的反射光正好以45°入射第二分光镜，其透过光方向有第一 CCD，在第一分光镜的反射光路上且成45°地置放第三分光 镜、成135°置放第三全反射镜，在该第三全反射镜的反射光 路上设置第四全反射镜，在该第四全反射镜的反射光正好以45 °入射第三分光镜，其透射光方向有第二CCD，所述的第一 CCD和第二CCD的输出通过一个图象采集卡同时连接到同一 台计算机，所述的第一CCD和第二CCD之间由一个外触发信 号同步。 |
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