| 专利名称 | 模块化原子力显微镜 | 申请号 | CN200420082610.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2733342 | 公开（授权）日 | 2005.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司 | 发明（设计）人 | 徐文东;杨金涛;吉小明 | 主分类号 | G01N13/16 | IPC主分类号 | G01N13/16 | 专利有效期 | 模块化原子力显微镜 至模块化原子力显微镜 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种模块化原子力显微镜，由7个模块组成：第 一模块为步近电机；第二模块是四维调整的样品架，固定在步 近电机上；第三模块是z向扫描器；第四模块包括微悬臂针尖 和聚焦透镜；第五模块是xy向的扫描器；第六模块包括具有 调焦透镜的半导体激光器、反射镜、成像透镜和四象限光电探 测器；第七模块包括光学显微镜、CCD摄像头和监视器。本实 用新型模块化原子力显微镜的调整和更换方便；利用各模块又 很容易搭建不同结构的原子力显微镜；样品具有粗定位的功 能。 |
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