| 专利名称 | 双磁辅助式管状工件内表面改性装置 | 申请号 | CN200320130380.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN2670377 | 公开（授权）日 | 2005.01.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨思泽;张谷令;王久丽;刘元富 | 主分类号 | C23C14/48 | IPC主分类号 | C23C14/48 | 专利有效期 | 双磁辅助式管状工件内表面改性装置 至双磁辅助式管状工件内表面改性装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种提高管状工件内部的气体 离化率，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一 可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状 工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间 连接一负高压电源，还包括一个使管状工件和管状电极产生相 对转动的驱动装置；所述管状电极由分布在圆筒状支撑件外表 面上的电极丝构成，该电极丝呈周向均匀分布，或呈螺旋式分 布；所述柱状电极为中空管，管中放置磁铁；所述的管状电极 为连通的中空的金属管。所述磁铁呈环状，磁铁与磁铁之间同 极相对地沿轴向均匀布置。本实用新型通过在柱状电极中放置 磁铁加强等离子体对中心电极材料的溅射，提高管状工件内表 面加工的效率。 |
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